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  • 質量流量計/質量流量控制器
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    ZF-MFC-XX系列 質量流量計/質量流量控制器

    質量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)是以氣體的質量流量為計量基準的流量計。傳感器采用進口流量傳感芯片及溫度補償技術,其測量值不隨氣體的壓力,溫度的變化而波動。較之一般的體積流量計具有無可比擬的優越性,同時具有全量程高穩定性,高精確度和優良的重復性,測量精度高,計量的起始流量小,自動穩零點,響應速度快。同時可輸出4~20mA信號,可供遠程儀表連接由上位機實現設定、控制、記錄等功能 。

    質量流量計控制器
    質量流量計控制器采用320*240彩色觸摸屏。全中/英文界面,清洗,關閉,控制,規格量程,氣體種類,一鍵式操作。顯示界面直觀,操作簡便



    應用場合

    管道的氣體--沼氣,煤氣,天然氣,液化氣,鍋爐預熱空氣。
    石油與天然氣工業--燃氣計量,氣體質量分析,泄漏氣測試,天然氣測量。
    電力行業--燃料系統中氣體分配過程中的氣體測量,鍋爐乃輔助系統中各種氣體的測量,燃氣爐中氣體測量,氫氣測量控制,電廠高爐的一次風,二次風的測量。
    化學工業--煙氣循環測量,采樣系統中氣體流量計量控制。引風機的氣體流量計量控制,化肥廠氨氣測量控制,電池工廠各種氣體流量測量控制。
    冷扎行業--鋼鐵廠加氣測量,煉鋼廠,高爐煤氣測量,焦化廠焦爐煤氣的測量控制,軋鋼廠加熱爐燃氣的測量控制,熱處理爐的氫,氧,氮等氣體的控制。
    食品及醫療行業--熱氧化過程中氣體流量測量控制,通風系統鍋爐進氣,廢棄,二氧化碳的處理等。
    系統集成商 特殊氣體廠商,真空元件供應商,真空系統集成商,電池系統集成商,生化系統集成商,氣體裝配流水線集成商,大學實驗室,科研機構實驗室,氣體公司,研發機構。
    典型應用--電子工業設備,如氧化,CVD,擴散,外延,等離子蝕刻,離子注入和濺射,以及微反應裝置,配氣和混氣系統,鍍膜設備,光釬熔煉,氣相色譜以及其他分析儀器。

    注意事項
    對于反應系統,建議在氣體質量流量計控制器的出流端加裝單向閥,以防止異常情況下 反應物倒流損壞質量流量計控制器。
    對于高壓系統,應在氣體質量流量計控制器的下游加裝背壓閥,保證氣體質量流量計的工作壓力。注意加裝過濾器以凈化氣源,延長質量流量計控制器的使用壽命。
    對于硅烷這樣的遇氣體易形成結晶的氣體,應特別注意系統的密閉性,必要時設計清洗旁路,隨時進行氮氣吹洗或過壓保持。
    有高頻源的系統應注意屏蔽并特別注意處理好接地問題。
    對于高真空系統注意各路接頭盡量減少,并采用VCR等接頭
    質量流量計控制器的安裝位置應易于裝卸,檢測,調零并安全可靠。
    對精度特殊要求極高的系統應注意冗余設計
    注意正確使用操作.對于比較復雜的系統或使用特殊氣體的系統,應當建立自己的操作規程。
    注意輕拿輕放妥善保管,質量流量控制器非常精密,應避免受到撞擊和震動,產品不用時注意放在較好環境中妥善保管。
    注意定期標定,如果自帶標定裝置可以省去。
    注意使用氣體與流量計的密封材料相適應。
    質量流量控制器通常采用的密封材料是氟橡膠,能適應大多數氣體的使用,包括HCL這樣的強腐蝕氣體,但對于氨氣必須使用耐氨橡膠,對于有機溶劑類氣體,如丙酮,甲苯等必須使用硅橡膠,對于使用三氯化硼,三溴化硼等強腐蝕性介質,必須使用四氟密封或金屬密封,流量計用戶在訂貨時必須注意

    產品特點 & 技術指標





    產品創新點

    進口傳感器芯片技術
    ZF—MFC-質量流量計控制器采用了進口傳感器.使精度,溫漂,環境的劇烈變化影響得到極大的提高

    無毛細管技術
    通氣口徑達到6mm,對粘度較大,含雜質氣體能保證精度。如硫化氫氣體等。

    超微流量控制
    最小流量分辨率0.01ml/min 并能精確控制

    觸摸屏功能
    ZF—MFC-2產品采用最新技術,所有量程,氣體切換一鍵搞定,操作方法一目了然,并有中英文可隨意選擇,強大的操作功能,可以完全兼容所有廠家的客戶端接口

    高精度 快響應
    ZF—MFC-3質量流量計控制器,產品準確度采用設定點精度,顯示精度,標定精度三點精度可達0.5%FS,響應時間≤200ms


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